低溫等離子廢氣處理設備已經還廣泛的應用于環(huán)境保護、包裝、紡織、塑料制品、汽車制造、電子設備制造、家電制造、計算機制造、手機制造、生物材料、衛(wèi)生材料、醫(yī)療器皿、殺菌消毒、環(huán)保設備、石油天然氣管道、供暖管道、化工子、半導體、航空航天等行業(yè)中。

該技術顯著特點是對污染物兼具物理效應、化學效應和生物效應，且有能耗低、效率高、無二次污染等明顯優(yōu)點。

其凈化作用機理包含兩個方面：一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子；二是等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài)。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性極強的O3，與有害氣體分子發(fā)生化學反應，*終生成無害產物。

低溫等離子體中的高能電子可使電負性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負離子，它具有許多良好的健康效應，對人體及其他生物的生命活動有著十分重要的影響，被人們譽為“空氣維生素”、“長壽素”。

低溫等離子體的凈化作用還具備顯著的生物效應。發(fā)生的靜電作用在各種細菌、病毒等微生物表面產生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此低溫等離子體除臭技術具有優(yōu)秀的消毒殺菌之功效。

以上所述顯示，低溫等離子體技術不僅可以凈化空氣，同時還可以消毒殺菌，從而使空氣維持在自然、清新的狀態(tài)。這是其他任何技術方法所無法比擬的。

低溫等離子體凈化技術是近年來發(fā)展起來的另一種廢氣治理新技術。低溫等離子體VOCs凈化技術利用介質放電產生的等離子體以極快的速度反復轟擊廢氣中的氣體分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成分，通過氧化等一系列復雜的化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)橐恍┬》肿拥陌踩镔|，或使有毒有害物質轉變?yōu)闊o毒無害或低毒低害物質。

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。